位移傳感器精度是影響自動(dòng)化設(shè)備位移測(cè)量與位置定位精度的主要因素。機(jī)械設(shè)備實(shí)際測(cè)量誤差包括系統(tǒng)誤差和隨機(jī)性誤差，測(cè)量次數(shù)越多，誤差值可能呈現(xiàn)出圍繞某一平均值的兩側(cè)做正態(tài)分布。
平均值與目標(biāo)測(cè)量值的偏差可反映出自動(dòng)化設(shè)備系統(tǒng)誤差大小，離散帶寬則反映了自動(dòng)化設(shè)備隨機(jī)性誤差大小。在現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用中，天沐建議可采取一些必要的措施減小位移傳感器系統(tǒng)誤差，提高設(shè)備的控制精度。
加強(qiáng)傳感器結(jié)構(gòu)與電路科學(xué)設(shè)計(jì)、嚴(yán)格控制工藝流程、規(guī)范傳感器安裝與使用，可降低位移傳感器系統(tǒng)誤差。也可以采用電氣補(bǔ)償或者軟件補(bǔ)償?shù)姆椒ǎ瑴p小系統(tǒng)測(cè)量過(guò)程中的綜合誤差。誤差補(bǔ)償是人為制造一個(gè)與測(cè)量誤差相等，方向相反的數(shù)據(jù)來(lái)修正系統(tǒng)誤差，提高設(shè)備的控制精度。因?yàn)橄到y(tǒng)誤差總是大于隨機(jī)誤差，采用補(bǔ)償方法可以取得顯著的效果。
電氣補(bǔ)償法是在控制系統(tǒng)中設(shè)置相應(yīng)的間隙補(bǔ)償電路和螺距補(bǔ)償電路，達(dá)到誤差補(bǔ)償?shù)哪康摹３Ｓ玫碾娐费a(bǔ)償方法有：模擬電路與數(shù)字電路，如：二極陣列開(kāi)方器，各種對(duì)數(shù)、指數(shù)、三角函數(shù)運(yùn)算放大器的數(shù)字控制分段校正與非線性A/D轉(zhuǎn)換等。
軟件補(bǔ)償法是利用計(jì)算機(jī)運(yùn)算功能輔助補(bǔ)償消除測(cè)量誤差，可以包括螺距累積誤差補(bǔ)償、反向間隙誤差補(bǔ)償以及熱變形誤差補(bǔ)償。還可以根據(jù)定期測(cè)量計(jì)算的數(shù)據(jù)，補(bǔ)償由于磨損等原因引起的精度誤差。軟件補(bǔ)償法因?yàn)殪`活性強(qiáng)，補(bǔ)償量可以自由設(shè)定，在工業(yè)自動(dòng)化測(cè)控系統(tǒng)應(yīng)用最為廣泛。
常用的軟件補(bǔ)償方法有計(jì)算法與查表法。當(dāng)傳感器輸出電信號(hào)與被測(cè)參數(shù)之間有確定的比例關(guān)系（或者公式）時(shí)，可采用計(jì)算法對(duì)自動(dòng)化系統(tǒng)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行非線性補(bǔ)償。即在軟件中做好傳感器輸出信號(hào)與被測(cè)參數(shù)的公式編程，被測(cè)參數(shù)經(jīng)過(guò)采樣、濾波和信號(hào)轉(zhuǎn)換后直接進(jìn)入計(jì)算機(jī)程序進(jìn)行運(yùn)算，計(jì)算出的數(shù)據(jù)即為補(bǔ)償法處理的輸出數(shù)據(jù)。
傳感器性能通常會(huì)隨溫度的變化而變化。為了減小溫漂對(duì)傳感器精度的影響，常采取一定的溫度補(bǔ)償技術(shù)。常見(jiàn)的有：自補(bǔ)償方法、并聯(lián)補(bǔ)償方法與反饋式補(bǔ)償方法。自補(bǔ)償技術(shù)是利用傳感器自身零部件的溫度特性抵消環(huán)境溫度對(duì)傳感器性能的影響；并聯(lián)補(bǔ)償技術(shù)是在位移傳感器主測(cè)量構(gòu)件上并聯(lián)一個(gè)溫度補(bǔ)償電路，使傳感器輸出信號(hào)不隨溫度變化而變化；反饋式補(bǔ)償技術(shù)則是利用負(fù)反饋原理保持傳感器特性不受環(huán)境溫度變化影響。